セラミック電子部品の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西澤均
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-114253
公開番号（公開出願番号）：特開2002-314252
特許番号：特許第3979027号
出願日： 2001年04月12日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】樹脂製のキャリアフィルム上に、レーザ光に対する反射率の高い金属反射膜を薄膜形成法により形成する工程と、前記金属反射膜上にセラミックグリーンシートを形成する工程と、前記セラミックグリーンシート側から前記金属反射膜に向けてレーザ光を照射することにより、前記セラミックグリーンシートにビアホール用の貫通孔を形成する工程と、前記貫通孔に導電ペーストを充填する工程と、前記貫通孔に導電ペーストを充填したセラミックグリーンシートを積層、圧着する積層工程とを備え、前記キャリアフィルムおよび金属反射膜は、前記積層工程において、セラミックグリーンシートから剥離されることを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法。

IPC (1件)：