特許

J-GLOBAL ID：201103095721889283

静電チャック

発明者： 梅津 基宏 ,  石井 守 ,  石田 弘徳 ,  松尾 裕之 ,  南澤 一右 ,  岸 幸男 ,  齋藤 和則 ,  鈴木 弘志
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社 ,  株式会社日本セラテック
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-104940
公開番号（公開出願番号）：特開2000-299372
特許番号：特許第3369505号
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 2000年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 電極と、その上に設けられた絶縁層とを有し、電極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被吸着体を静電吸着する静電チャックであって、前記絶縁層は、周期律表3A族に属する元素のうち少なくとも1種の元素を含む酸化物と、TiO2-X(0≦X<2)とから実質的になり、これらの少なくとも一部が複合酸化物を形成しているセラミックス材料を主体とし、絶縁層の体積抵抗率が108〜1014Ω・cmであることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電吸着電極およびそれを用いたプラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-007111   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-296040