特許
J-GLOBAL ID：201103095998439510

極薄ポリマー接着層

発明者：
シュ,フランク・ワイ

シュ,フランク・ワイ について

, 
フレッチャー,エドワード・ビイ

フレッチャー,エドワード・ビイ について


出願人/特許権者：
モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド

モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド について


代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-536928
公開番号（公開出願番号）：特表2011-508680
出願日： 2008年12月04日
公開日（公表日）： 2011年03月17日
要約：
インプリント・リソグラフィーのインプリント用スタックは、基板および該基板に接着したポリマー接着層を含む。ポリマー接着層は、少なくとも約2nmの伸びきり骨格長さを有するポリマー成分を含む。このポリマー成分の骨格は、基板の表面に、本質的に、平面状配置で整列し得るので、ポリマー接着層の厚さは、約2nm未満である。
請求項（抜粋）：
基板; および 該基板に接着したポリマー接着層 を含み、該ポリマー接着層の厚さが約2nm未満である、インプリント・リソグラフィーのインプリント用スタック。
IPC (6件)：
B32B 27/06 ,  C08J 5/12 ,  C08G 59/20 ,  B32B 27/38 ,  B29C 59/02 ,  H01L 21/027
FI (6件)：
B32B27/06 ,  C08J5/12 ,  C08G59/20 ,  B32B27/38 ,  B29C59/02 Z ,  H01L21/30 502D
Fターム (34件)：
4F071AA42A ,  4F071AH19 ,  4F071CA01 ,  4F071CB01 ,  4F071CC02 ,  4F071CD05 ,  4F100AK53B ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100GB90 ,  4F100YY00B ,  4F209AA36 ,  4F209AA37 ,  4F209AD08 ,  4F209AD20 ,  4F209AF01 ,  4F209AG03 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN06 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  4J036AF06 ,  4J036AF12 ,  4J036CA18 ,  4J036CA21 ,  4J036DB16 ,  4J036HA12 ,  4J036JA05 ,  4J036JA06 ,  5F046AA28
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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