特許
J-GLOBAL ID:201103096181023261
電子源アレイ及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (6件):
原 謙三
, 木島 隆一
, 金子 一郎
, 佐々木 晴康
, 小池 隆彌
, 木下 雅晴
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-048808
公開番号(公開出願番号):特開2001-236876
特許番号:特許第3558948号
出願日: 2000年02月25日
公開日(公表日): 2001年08月31日
請求項(抜粋):
【請求項1】フィラメント形状を有する電子源の鋳型を形成する工程と、前記鋳型に電子源材料を充填してフィラメント形状の電子源を形成する工程と、前記鋳型を加熱して鋳型中にバルクとエッチングレートの異なる、相転位した微粒子を形成し、前記鋳型を上記微粒子だけが残存するようにエッチング除去することで、前記微粒子を電子源の間隙に点在させて前記電子源を微粒子で固着する工程と、を含むことを特徴とする電子源アレイの製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H01J 1/30 F
, H01J 9/02 B
引用特許:
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