特許
J-GLOBAL ID：201103096487384470
複合機用除振装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-159771
公開番号（公開出願番号）：特開2000-349040
特許番号：特許第3451476号
出願日： 1999年06月07日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ワークに対して一次処理を行うための処理装置と、該処理装置で処理された処理ワークを搬送機構を通して受け、受け取った処理ワークにレーザビームを照射して二次処理を行うプロセスチャンバとを、前記搬送機構を密封状態で収容しているトランスファチャンバを介して連結して成る複合機用の除振装置であって、前記プロセスチャンバの下には少なくとも1つの除振台が設けられており、前記プロセスチャンバと前記トランスファチャンバとの間の連結を、ベローズを介して行うようにし、前記除振台は、フィードバック制御系により制御されるエア式ダンパを備え、前記除振台において前記プロセスチャンバと共に変位するあらかじめ定められた部位と前記除振台において該除振台が設置される床側と同じ状態におかれる部位との間の相対距離があらかじめ定められた値より大きい間は前記除振台の機能を働かせ、前記相対距離が前記あらかじめ定められた値以下になると前記除振台の機能を停止させるようにしたことを特徴とする複合機用除振装置。
IPC (3件)：
H01L 21/268
, F16F 15/02
, H01L 21/68
H01L 21/268 G
, F16F 15/02 A
, H01L 21/68 A
