特許

J-GLOBAL ID：201103096976244355

調整可能な一様性及び統計的電子過熱を有し、ガス・クラッキングを低減する高密度プラズマ・ツール

発明者： ジョン・エイチ・ケラー
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (1件)： 坂口 博 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-239788
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118834
特許番号：特許第3395167号
出願日： 2000年08月08日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電力をプラズマに結合するアンテナであって、複数の放射状の要素を有する第1のプレートと、前記放射状の要素の外端に電気的に接続される第2のプレートと、前記放射状の要素の内端に電気的に接続されて、前記第2のプレートと分布容量を形成する第3のプレートとを含むアンテナ。

IPC (3件)：

H01L 21/3065 ,  B01J 19/08 ,  H05H 1/46

FI (3件)：

B01J 19/08 H ,  H05H 1/46 L ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• プラズマ処理方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-201272   出願人：松下電器産業株式会社