特許

J-GLOBAL ID：201103097033371400

複屈折特性測定方法および装置

発明者： ワン、 バオリャン ,  オークバーグ、 セオドア シー ,  カドレック、 ポール
出願人/特許権者： ハインズ インスツルメンツ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 松永 宣行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-532690
特許番号：特許第4629869号
出願日： 1999年02月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 試料の複屈折特性を測定する装置であって、 光源と、 前記光源の光を偏光する手段と、 変換器により振動させられた棒状の光学素子を備える、前記光の偏光を変調する変調手段と、 前記変調手段により変調された光のビームが入射経路に沿って通過するように配置された試料と、 前記試料を通過した前記ビームを該ビームの第1の部分と第2の部分とに分割するビーム分割要素であって、前記ビームの第1の部分を通しかつ前記ビームの第2の部分を反射経路に沿って反射するビーム分割要素と、 前記ビームの第1の部分が入射する、偏光方向を有する第1の検光子と、 前記ビームの第2の部分が入射する、前記第1の検光子の偏光方向と異なる偏光方向を有する第2の検光子と、 前記ビームの第1の部分および第2の部分の強度を検出し、検出された該強度に基いて前記試料の複屈折特性の計算に適した情報を与える検出手段とを含み、 前記光源の光は、前記入射経路に沿って進む前記光のビームが単色であるように制御され、 前記変換器は前記光学素子の各端部に取り付けられ、かつ前記変換器は該変換器に設けられた支持部材によりハウジングに懸架されて該ハウジングに取り付けられている、複屈折特性測定装置。

IPC (2件)：

G01J 4/04 ( 200 6.01) ,  G01N 21/23 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01J 4/04 A ,  G01N 21/23

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 複屈折測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-051114   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平1-182737
  
• 特開昭54-164173
  

審査官引用 (5件)

• 複屈折測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-051114   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平1-182737
  
• 特開平1-182737
  
• 特開平1-182737
  
• 特開平1-182737
  

引用文献：

出願人引用 (2件)

• “位相変調法による複屈折 測定と応用”
• “An improved method for measuring low-level linear birefringence in optical materials”

審査官引用 (1件)

• “位相変調法による複屈折 測定と応用”