特許
J-GLOBAL ID：201103097136551938
液晶パネルの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-120766
公開番号（公開出願番号）：特開2006-301156
特許番号：特許第4670452号
出願日： 2005年04月19日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、液晶層と、前記基板及び液晶層の間に設けられた配向膜を有する液晶パネルを製造する方法であって、
前記基板の一方の面側に、斜方蒸着法により、複数の細孔を有する無機酸化物膜を形成する第1の工程と、
該無機酸化物膜が形成された基板をチャンバ内の容器内に搬入し、前記容器内にアルコールを含有する処理液を供給して前記無機酸化物膜が形成された基板を処理液中に浸漬する第2の工程と、
該チャンバを減圧することにより、前記無機酸化物膜の細孔内に前記処理液を浸透させた後、前記容器から前記処理液を排出する第3の工程と、
前記チャンバ内で、前記無機酸化物膜の表面および細孔の内面に、前記アルコールを化学結合させて、前記配向膜を得る第4の工程と、
を有することを特徴とする液晶パネルの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
