特許
J-GLOBAL ID：201103097432282330

基板処理装置及び基板処理方法

発明者：
松山 健一郎

松山 健一郎 について

, 
松本 武志

松本 武志 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (2件)： 井上 俊夫 ,  三井田 友昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-039093
公開番号（公開出願番号）：特開2011-176122
出願日： 2010年02月24日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
要約：
【課題】マルチモジュールを構成するモジュールが使用不可モジュールとなったときにおいて、基板の搬送を速やかに行ない、製品不良の発生を抑えること。【解決手段】基板を搬送先モジュールに搬送する前に、当該搬送先モジュールが使用不可となったときには、基板の搬送先を、当該基板の次の基板が搬入されるべきモジュールに変更する。使用不可モジュールが発生したときに、前記搬送手段が例えば搬送サイクルの上流端のモジュールに対してアクセスする前であるときには、変更後の搬送先モジュール内にて前の基板が搬出できる状態となるまで搬送サイクルを進めるように制御を行う。また使用不可モュールが発生したときに、前記搬送手段が搬送サイクルにおいて前記使用不可モジュールよりも上流側に位置しているときには、変更後の搬送先モジュール内にて前の基板が搬出できる状態となるまで、搬送手段の搬送動作を待機するように制御を行う。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
各々基板が載置されると共に搬送の順番が決められているモジュール群を備え、モジュール群の中には、搬送の順番が同じであって、基板に対して同一の処理を行う複数のモジュールからなるマルチモジュールが含まれ、 搬送手段により、一のモジュールから基板を取り出し、次のモジュールの基板を受け取ってから当該次のモジュールに先の基板を受け渡し、こうして各モジュールに置かれた基板を一つ順番が後のモジュールに移すことにより一の搬送サイクルを実行し、当該一の搬送サイクルを実行した後、次の搬送サイクルに移行し、各搬送サイクルを順次実行することにより前記モジュール群のうち順番の小さいモジュールから順番の大きいモジュールに基板が順次搬送されて所定の処理が行われ、 通常時には、前記マルチモジュールの各モジュールに対してその前のモジュールから基板の一定の順序で分配される基板処理装置において、 基板に順番を割り当て、基板の順番と各モジュールとを対応づけて搬送サイクルを指定した搬送サイクルデータを時系列に並べて作成された搬送スケジュールを記憶する記憶部と、 前記搬送スケジュールを参照し、搬送サイクルデータに書き込まれている基板をその基板に対応するモジュールに搬送するように前記搬送手段を制御し、これにより搬送サイクルを実行する制御部と、を備え、 前記制御部は、前記マルチモジュールを構成する複数のモジュールの少なくとも一つが使用できない使用不可モジュールになりかつ少なくとも一つが使用できる状態にあるときには、下記(1)及び(2)の動作が行われるように構成されていることを特徴とする基板処理装置。 (1)使用不可モジュールが発生したときに、前記搬送手段が搬送サイクルにおいて前記使用不可モジュールよりも下流側に位置するかまたは搬送サイクルの上流端のモジュールに対してアクセスする前であるときには、 (1-a)使用不可モジュールに搬入する予定である、使用不可モジュールの一つ前のモジュールに置かれている基板の搬送先を、当該基板の次の基板が搬入されるべきモジュールに変更する。 (1-b)当該基板の次の基板が搬入されるべきモジュールが使用不可モジュールであるときには、更に次の基板が搬入されるべきモジュールを検索し、こうして使用可能なモジュールを探して当該使用可能なモジュールを搬送先とする。 (1-c)こうして決められた搬送先のモジュール内にて前の基板が搬出できる状態にないときには、搬送手段を待機させることなく、基板が搬出できる状態となるまで搬送サイクルを進める。 (2)使用不可モジュールが発生したときに、搬送サイクルが開始されていて、前記搬送手段が搬送サイクルにおいて前記使用不可モジュールよりも上流側に位置しているときには、 (2-a)使用不可モジュールに搬入する予定である、使用不可モジュールの一つ前のモジュールに置かれている基板の搬送先を、当該基板の次の基板が搬入されるべきモジュールに変更する。 (2-b)当該基板の次の基板が搬入されるべきモジュールが使用不可モジュールであるときには、更に次の基板が搬入されるべきモジュールを検索し、こうして使用可能なモジュールを探して当該使用可能なモジュールを搬送先とする。 (2-c)こうして決められた搬送先のモジュール内にて前の基板が搬出できる状態にないときには、搬送手段の搬送動作を、少なくとも前記搬送先として決定されたモジュールよりも上流側にて待機する。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  H01L 21/677
FI (3件)：
H01L21/30 562 ,  H01L21/30 502J ,  H01L21/68 A
Fターム (22件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA08 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA15 ,  5F031GA04 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031MA03 ,  5F031MA07 ,  5F031MA27 ,  5F031PA02 ,  5F031PA11 ,  5F046CD01 ,  5F046CD03 ,  5F046CD05 ,  5F146CD01 ,  5F146CD03 ,  5F146CD05
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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