特許

J-GLOBAL ID：201103097464349402

生産装置

発明者： 百瀬 修
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (2件)： 田澤 博昭 ,  加藤 公延
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014914
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214930
特許番号：特許第3549759号
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】被測定流体が流れる流路と、前記被測定流体の流量を調節する調節弁と、前記被測定流体の流量を検出する流量検出手段と、前記調節弁を制御して前記流量検出手段により検出した検出流量を設定値に近づける制御手段と、外部から流量設定値変更指示を入力する入力手段と、該入力手段により入力した流量設定値変更指示により変更された設定値へ前記検出流量が近づいたことを判定する判定手段と、該判定手段による判定結果を電気信号として外部へ出力する出力手段とを備えた流量制御装置と、前記流量制御装置へ流量設定値変更指示を送出する指示手段と、前記流量制御装置の出力手段による出力をインターロックに用いて制御信号を生成する外部装置制御手段と、該外部装置制御手段により生成された制御信号をもとに、前記判定手段が前記設定値へ前記検出流量が近づいたとの判定を行なった後に、前記流量制御装置により制御される加工装置によってワークを処理する次の製造ライン工程を開始する外部装置とを備えた生産装置。

IPC (2件)：

G05D 7/06 ,  G05B 23/02

FI (2件)：

G05D 7/06 Z ,  G05B 23/02 V

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 流量計及び質量流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-157595   出願人：エマーソン・エレクトリック・カンパニー
• 流量制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-045595   出願人：日立金属株式会社
• 特開平2-157996
  

審査官引用 (3件)

• 流量計及び質量流量制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-157595   出願人：エマーソン・エレクトリック・カンパニー
• 流量制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-045595   出願人：日立金属株式会社
• 特開平2-157996