特許

J-GLOBAL ID：201103098014623110

p型ZnO単結晶およびその製造方法

発明者： 吉田 博 ,  山本 哲也
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (3件)： 森 哲也 ,  内藤 嘉昭 ,  崔 秀▲てつ▼
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-576087
特許番号：特許第3540275号
出願日： 1999年10月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】酸化亜鉛(ZnO)の単結晶中に、窒素(N)からなるp型ドーパントと、ホウ素(B)、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、および水素(H)のいずれか一つ以上からなるn型ドーパントとが含まれていることを特徴とするp型ZnO単結晶。

IPC (4件)：

C30B 29/48 ,  H01L 21/363 ,  H01L 21/477 ,  H01L 33/00

FI (4件)：

C30B 29/48 ,  H01L 21/363 ,  H01L 21/477 ,  H01L 33/00 D