変位計測装置、及び変位計測方法

発明者： , , , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：牛木護 , 吉田正義 , 今枝弘充 , 梅村裕明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-157380
公開番号（公開出願番号）：特開2011-013095
出願日： 2009年07月02日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：

【課題】局所的な変形が生じた場合にもより正確に変位を計測することができる変位計測装置及び変位計測方法を提供する。【解決手段】変位計測装置1は、光線Bを出射する照射部5と、前記光線Bの一部を透過し第1光線B1を出射すると共に前記光線Bの他の一部を分離して延長光EBを出射する光路長変更部6と、前記第1光線B1及び前記延長光EBを受光して天井3の変位を検出する変位検出部7とを備える。変位検出部7は、第1光線B1を受光して第1受光位置を検出する第1受光部10と、前記延長光EBを受光して第2受光位置を検出する第2受光部11と、前記第1受光位置及び前記第2受光位置から変位を算出する算出部12とを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基体に対し所定間隔を隔てて設けられた変位検出対象物の前記基体に対する水平方向の変位を計測する変位計測装置であって、前記変位検出対象物から前記基体に向かって光線を出射する1又は複数の光源を有し、前記変位検出対象物に設けられる照射部と、前記基体に設けられ、前記光線を受光して前記変位検出対象物の変位を検出する変位検出部とを備え、前記変位検出部は、前記光線の一部を受光して前記所定間隔を光路長とする第1受光位置を検出する第1受光部と、前記光線の他の一部の光路長を変更する光路長変更部と、前記光路長変更部によって所定距離だけ変更された長さを光路長とする第2受光位置を検出する第2受光部とを有することを特徴とする変位計測装置。

IPC (1件)：

G01B 11/00

FI (1件)：

G01B11/00 A

Fターム (12件)：

2F065AA09 , 2F065AA31 , 2F065AA65 , 2F065BB05 , 2F065CC14 , 2F065FF23 , 2F065GG04 , 2F065HH04 , 2F065JJ05 , 2F065JJ16 , 2F065LL00 , 2F065LL47

引用特許：

審査官引用 (6件)

特表平2-504315
特開昭62-088904
特開昭59-214703

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