特許

J-GLOBAL ID：201103098246414215

流量測定方法および流量測定装置

発明者： 松沢 広宣 ,  笹尾 起美仁
出願人/特許権者： アドバンス電気工業株式会社
代理人 (2件)： 後藤 憲秋 ,  吉田 吏規夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098990
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292227
特許番号：特許第3623125号
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：

【請求項1】一側に流体の流入部(12)を有し弁座(16)を介して他側に流体の流出部(15)が形成されたチャンバ(20)を有するボディ本体(11)と、 前記弁座を開閉する弁部(41)と前記流入部側に配された第一ダイヤフラム部(50)と前記流出部側に配された第二ダイヤフラム部(60)とを有する弁機構体(40)とを備え、 前記各ダイヤフラム部は、それらの外周部が前記ボディ本体に固定されて前記チャンバ内に取り付けられていて、該チャンバを第一ダイヤフラム部外側の第一加圧室(21)、前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部に囲まれ前記流入部及び弁座ならびに流出部を有する弁室(25)、及び第二ダイヤフラム部外側の第二加圧室(30)に区分しており、 前記第一加圧室及び第二加圧室に設けられた第一加圧手段(M1)及び第二加圧手段(M2)によって前記第一ダイヤフラム部及び第二ダイヤフラム部を常時弁室方向に一定圧力を加えるようにした調圧手段(M)によって流体の圧力を制御するとともに、 前記チャンバの前記調圧手段より下流側に絞り部(80)を設け、 該絞り部の下流側における流体の圧力を検知し、該流体の圧力と前記調圧手段の調圧圧力との差圧から流体の流量を算出することを特徴とする流量測定方法。

IPC (3件)：

G01F 1/34 ,  G05D 7/06 ,  G05D 16/06

FI (3件)：

G01F 1/34 Z ,  G05D 7/06 Z ,  G05D 16/06

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平4-096808
  
• 流量コントロールバルブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-264935   出願人：アドバンス電気工業株式会社

審査官引用 (2件)

• 特開平4-096808
  
• 流量コントロールバルブ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-264935   出願人：アドバンス電気工業株式会社