特許
J-GLOBAL ID：201103098719732139
パーティクルカウント方法及びパーティクルカウンタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
蔵合 正博
, 酒井 一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-400001
公開番号（公開出願番号）：特開2003-194700
特許番号：特許第3668190号
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 気相中で物理的あるいは化学的な反応を行うプロセス装置に接続され、前記プロセス装置内のプロセスガスをエアロゾルとして取り込み、内在するパーティクルに対し荷電を行った後、前記エアロゾルを層流状の非荷電性シースガス流に混合させた後、静電界を印加することで、各々の内在パーティクルに、粒径に依存した軌道をとらせ、特定の軌道のパーティクルを抽出し、その数量を計測することで、前記プロセス装置内に浮遊するパーティクルの粒径分布を算出するパーティクルカウント方法であって、 荷電パーティクルの検出に際し、分級領域への印加静電界強度を低周波変調し、これに同調する前記荷電パーティクルの検出電気信号を狭帯域増幅することで、前記エアロゾルの流路に気相拡散現象により散逸する散逸浮遊イオンの影響を除去することを特徴とするパーティクルカウント方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G01N 15/02 F
, G01N 15/02 D
