特許
J-GLOBAL ID：201103098824825274

質量流量制御装置

発明者：
田中 誠

田中 誠 について


出願人/特許権者：
日立金属株式会社

日立金属株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-271828
公開番号（公開出願番号）：特開2002-082722
特許番号：特許第3551906号
出願日： 2000年09月07日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】流体を流す流体通路に介設された流量制御弁を、外部より入力される流量設定信号と流量センサ手段からのセンサ信号とに基づいてコントロールすることにより前記流体の質量流量を制御する質量流量制御装置において、前記流量制御弁の応答性の制御に関してデジタル演算回路系とアナログ回路系とを有しており、前記アナログ回路系は、前記流量設定信号と前記センサ信号とを比較する比較部と、この比較部の出力に基づいた大きさの前記バルブ電圧を出力するバルブ駆動部と、前記比較部に接続されて前記比較部に用いる制御定数を切り換えて選択する制御定数切換部とを有し、前記センサ信号と前記流量設定信号とを比較して前記流量制御弁のバルブ電圧を決定するフィードバック制御を行い、 前記デジタル演算回路系は、前記流量設定信号に基づいて前記制御定数切換部を制御する切換部制御信号を出力するように構成したことを特徴とする質量流量制御装置。
IPC (1件)：
G05D 7/06
FI (1件)：
G05D 7/06 Z
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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