特許
J-GLOBAL ID：201103098846490543

搬送装置

発明者：
吾郷 健二

吾郷 健二 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 大森 純一 ,  折居 章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-066085
公開番号（公開出願番号）：特開2011-199121
出願日： 2010年03月23日
公開日（公表日）： 2011年10月06日
要約：
【課題】安定した昇降位置精度を確保することができるとともに、時間あたりの搬送作業効率の高い基板搬送作業を実現することができる搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置1においては、第1のアーム10の駆動軸310A及び旋回軸310Bと同軸上に第1のアーム10を昇降させる昇降軸52が配置されている。昇降軸52がとく同軸310A及び旋回軸310Bと同軸上に配置されているため、昇降軸52が搬送装置1の重心またはその近傍に位置する。さらに、同一平面内における第1のアーム10及び第2のアーム20の占有範囲を90度よりも小さい角度範囲に収めることで、時間あたりの搬送作業効率の高い基板搬送作業を実現することができる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
第1の軸まわりへの旋回動作と前記第1の軸方向と直交する第2の軸方向への伸縮動作とが可能な第1のアームを有する第1の搬送ユニットと、 前記第1の軸まわりへの旋回動作と前記第2の軸と平行な面内での伸縮動作とが可能な第2のアームを有する第2の搬送ユニットと、 前記第1の軸と同軸上に配置され前記第1の搬送ユニットに結合された第1の昇降軸と、前記第1の昇降軸を駆動することで前記第1の搬送ユニットを前記第1の軸方向へ昇降させる第1の昇降駆動源とを有する第1の昇降機構と を具備する搬送装置。
IPC (1件)：
H01L 21/677
FI (1件)：
H01L21/68 A
Fターム (20件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA09 ,  5F031FA12 ,  5F031GA04 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031GA54 ,  5F031GA55 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031LA14 ,  5F031LA16 ,  5F031NA05 ,  5F031PA30
引用特許：
審査官引用 (4件)
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