特許
J-GLOBAL ID：201103099109023906
表面性状測定機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉田 研二
, 石田 純
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-120751
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310530
特許番号：特許第4034906号
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 検出器を被測定物表面に沿った第1軸方向に相対移動させ、前記被測定物表面の凹凸による前記第1軸方向に垂直な第2軸方向の位置を検出することで、前記第1軸方向の位置の関数として前記凹凸を検出する表面性状測定機であって、
前記検出器の前記第1軸方向の位置を検出する検出手段と、
前記第2軸方向の位置の1つ前の検出値との差分値である変位量が第1所定値以上となった時点の前記第1軸方向の位置及び前記第2軸方向の位置を検出値として記憶して出力し、前記変位量が前記第1所定値より小さい場合には、前記第1軸方向の位置の1つ前の検出値との差分値である変位量が第2所定値以上となった時点の前記第1軸方向の位置及び前記第2軸方向の位置を検出値として記憶して出力する手段と、
を有することを特徴とする表面性状測定機。
IPC (2件)：
G01B 21/30 ( 200 6.01)
, G01B 5/28 ( 200 6.01)
G01B 21/30
, G01B 5/28 102
