特許
J-GLOBAL ID：201103099200046382
固体撮像装置及び固体撮像装置の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-291023
公開番号（公開出願番号）：特開2011-134788
出願日： 2009年12月22日
公開日（公表日）： 2011年07月07日
要約：
【課題】 カラーフィルタ層形成後の表面の平坦性を保ちつつ、カラーフィルタ間に空隙を設けた際にも、空隙上に設けた材料により空隙の大部分が埋まってしまうことを抑制することを目的とする。【解決手段】 本発明は上記課題に鑑み、半導体基板に配された複数の光電変換部と、前記半導体基板の光が入射する第1主面側に配された第1の平坦化層と、前記第1の平坦化層上に配され、各光電変換部に対応して設けられたカラーフィルタを有するカラーフィルタ層と、前記カラーフィルタ層上に配され、前記カラーフィルタ間の段差を低減する第2の平坦化層と、を有する固体撮像装置であって、前記カラーフィルタ層の隣接するカラーフィルタ間の境界に対応した位置に空隙が配され、該空隙は前記第2の平坦化層まで延在しており、前記空隙及び前記第2の平坦化層上に該空隙を封止する封止層が配されていることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体基板に配された複数の光電変換部と、
前記半導体基板の光が入射する第1主面側に配された第1の平坦化層と、
前記第1の平坦化層上に配され、各光電変換部に対応して設けられたカラーフィルタを有するカラーフィルタ層と、
前記カラーフィルタ層上に配され、前記カラーフィルタ間の段差を低減する第2の平坦化層と、を有する固体撮像装置であって、
前記カラーフィルタ層の隣接するカラーフィルタ間の境界に対応した位置に空隙が配され、該空隙は前記第2の平坦化層まで延在しており、
前記空隙及び前記第2の平坦化層上に該空隙を封止する封止層が配されていることを特徴とする固体撮像装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L27/14 D
, H04N5/335 U
4M118AA05
, 4M118AB01
, 4M118BA09
, 4M118CA03
, 4M118CA34
, 4M118FA26
, 4M118FA28
, 4M118GA02
, 4M118GB03
, 4M118GB07
, 4M118GB11
, 4M118GB13
, 4M118GB15
, 4M118GC08
, 4M118GC14
, 4M118GC17
, 4M118GC20
, 4M118GD04
, 5C024CY47
, 5C024EX43
, 5C024EX52
, 5C024GX03
