特許
J-GLOBAL ID:200903096350328060

固体撮像素子及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-283052
公開番号(公開出願番号):特開2009-111225
出願日: 2007年10月31日
公開日(公表日): 2009年05月21日
要約:
【課題】固体撮像素子の混色を抑制して色再現性を高め、シェーディング特性を向上させる。【解決手段】固体撮像素子20は、フォトダイオード26R,26G,26Bを備えた半導体基板22と、凸型インナーレンズ28を有するデバイス保護膜23と、カラーフィルタ層21R,21G,21B及びカラーフィルタ層間を隔てて分離する分離壁25を有するカラーフィルタアレイとを備えている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
半導体基板と、 2色以上のカラーフィルタ層と少なくとも異色の前記カラーフィルタ層間を隔てて分離する分離壁とを有するカラーフィルタアレイと、 前記半導体基板と前記カラーフィルタアレイとの間に配置された集光手段と、 を備えた固体撮像素子。
IPC (3件):
H01L 27/14 ,  G02B 5/20 ,  H01L 31/02
FI (3件):
H01L27/14 D ,  G02B5/20 101 ,  H01L31/02 B
Fターム (27件):
2H048BA45 ,  2H048BB03 ,  2H048BB23 ,  2H048BB28 ,  2H048BB46 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118CA02 ,  4M118CA31 ,  4M118CA40 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118GA09 ,  4M118GB11 ,  4M118GC08 ,  4M118GC17 ,  4M118GD04 ,  4M118GD15 ,  5F088AA01 ,  5F088BA07 ,  5F088BB03 ,  5F088CB14 ,  5F088EA04 ,  5F088HA06 ,  5F088HA07
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (5件)
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