特許
J-GLOBAL ID:200903096350328060
固体撮像素子及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-283052
公開番号(公開出願番号):特開2009-111225
出願日: 2007年10月31日
公開日(公表日): 2009年05月21日
要約:
【課題】固体撮像素子の混色を抑制して色再現性を高め、シェーディング特性を向上させる。【解決手段】固体撮像素子20は、フォトダイオード26R,26G,26Bを備えた半導体基板22と、凸型インナーレンズ28を有するデバイス保護膜23と、カラーフィルタ層21R,21G,21B及びカラーフィルタ層間を隔てて分離する分離壁25を有するカラーフィルタアレイとを備えている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
半導体基板と、
2色以上のカラーフィルタ層と少なくとも異色の前記カラーフィルタ層間を隔てて分離する分離壁とを有するカラーフィルタアレイと、
前記半導体基板と前記カラーフィルタアレイとの間に配置された集光手段と、
を備えた固体撮像素子。
IPC (3件):
H01L 27/14
, G02B 5/20
, H01L 31/02
FI (3件):
H01L27/14 D
, G02B5/20 101
, H01L31/02 B
Fターム (27件):
2H048BA45
, 2H048BB03
, 2H048BB23
, 2H048BB28
, 2H048BB46
, 4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA10
, 4M118BA14
, 4M118CA02
, 4M118CA31
, 4M118CA40
, 4M118CB14
, 4M118EA01
, 4M118GA09
, 4M118GB11
, 4M118GC08
, 4M118GC17
, 4M118GD04
, 4M118GD15
, 5F088AA01
, 5F088BA07
, 5F088BB03
, 5F088CB14
, 5F088EA04
, 5F088HA06
, 5F088HA07
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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