特許
J-GLOBAL ID：201103099267994560
測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338411
公開番号（公開出願番号）：特開2000-227331
特許番号：特許第3379928号
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 測定光を発する測定光源と、被検体に対して対向配置され前記被検体に測定光を収束させる対物レンズと、前記対物レンズを通して前記被検体に照射される測定光を被検体上で二次元的に走査する走査手段と、前記被検体で反射される光束の中心部から一定距離離れた位置に配置され、当該光束の一部を通す絞りと、前記対物レンズの瞳面と共役な位置に配置され、前記絞りを通った光束を集光させる結像レンズと、前記結像レンズの収束面に配置され、前記被検体の高さに応じて位置が変化する光スポットの変動量を検出する光位置検出手段と、前記光位置検出手段で検出された変動量から被検体の高さを求める高さ演算手段と、を有する第1の測定手段と、照明光源から照明光を被検体上に照射して該被検体からの反射光または散乱光を前記対物レンズを通じて受光し二次元情報を得る第2の測定手段と、を具備し、前記対物レンズは、前記第1の測定手段における光軸と前記第2の測定手段における光軸とが重なる位置に設けられることを特徴とする測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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光学顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-329412
出願人：株式会社キーエンス
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共焦点光学装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-161693
出願人：株式会社小松製作所
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