特許

J-GLOBAL ID：201103099313563995

縦型加熱炉用円板状ヒータ

発明者： 渡辺 文夫
出願人/特許権者： 助川電気工業株式会社
代理人 (1件)： 北條 和由
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-177028
公開番号（公開出願番号）：特開2001-006853
特許番号：特許第3170573号
出願日： 1999年06月23日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 加熱物(28)を加熱する円板状のヒータであって、ドーナツ円板形のヒータ部材(51)の内周と外周から円周方向に交互に放射状にスリット(53)、(54)を入れて円周方向に蛇行状に連続していると共に、ヒータ部材(51)の内周側より外周側のスリット(53)、(54)の間の幅が広くなる分だけヒータ部材(51)の内周側より外周側の厚さを薄くすることにより、ヒータ部材(51)の内周側と外周側との電流の流れと直交する断面の面積を均等化したことを特徴とする縦型加熱炉用円板状ヒータ。

IPC (4件)：

H05B 3/14 ,  H01L 21/22 511 ,  H05B 3/03 ,  H05B 3/64

FI (4件)：

H05B 3/14 F ,  H01L 21/22 511 A ,  H05B 3/03 ,  H05B 3/64

引用特許：

審査官引用 (2件)

• CZ法シリコン単結晶引上炉及びそのヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-290558   出願人：東芝セラミックス株式会社
• 黒鉛発熱体及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平2-417930   出願人：平野博之, 東洋炭素株式会社