特許

J-GLOBAL ID：201103099868762357

液状物吐出装置および方法

発明者： 平田 慎之介 ,  青山 尚之 ,  高橋 貞行 ,  入江 優花 ,  加藤 好志
出願人/特許権者： 株式会社アプライド・マイクロシステム ,  国立大学法人電気通信大学
代理人 (1件)： 相原 礼路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-062665
公開番号（公開出願番号）：特開2011-174907
出願日： 2010年03月18日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
要約：

【課題】塗布用針を塗布対象に当接させることなく、微少な液滴を塗布対象の塗布面に的確に塗布できる液滴塗布装置を提供する。【解決手段】塗布液を収納する塗布液収納部を通って塗布用針を降下させることにより塗布対象の塗布面に液滴を塗布する液滴塗布装置であって、塗布用針を振動させるための針振動手段と、塗布用針の振動を検出するための針振動検出手段と、針振動検出手段の検出出力において、針先端に付着した液滴が塗布対象の塗布面に接触していないときの塗布用針の共振周波数と液滴が塗布面に接触しているときの共振周波数が異なる性質を利用して針の降下動作を制御する針位置制御手段とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

塗布液を収納する塗布液収納部を通って塗布用針を降下させることにより塗布対象に液滴を塗布する液滴塗布装置であって、 前記塗布用針を振動させるための針振動手段と、 前記塗布用針の振動を検出するための針振動検出手段と、 前記針振動検出手段の検出出力において、前記液滴が前記塗布面に接触していないときの共振周波数と前記液滴が前記塗布面に接触したときの共振周波数とが異なる性質を利用して、前記塗布用針の降下動作を制御する針位置制御手段と を備えることを特徴とする、液滴塗布装置。

IPC (4件)：

G01N 35/10 ,  G01N 1/00 ,  B05D 1/26 ,  B05C 1/02

FI (4件)：

G01N35/06 A ,  G01N1/00 101K ,  B05D1/26 Z ,  B05C1/02 101

Fターム (24件)：

2G052CA03 ,  2G052CA18 ,  2G052CA40 ,  2G052DA05 ,  2G052GA26 ,  2G052HB06 ,  2G052HB10 ,  2G052HC04 ,  2G052HC35 ,  2G052JA09 ,  2G058EA11 ,  2G058ED02 ,  2G058ED10 ,  2G058ED15 ,  2G058GB10 ,  4D075AC07 ,  4D075AC09 ,  4D075AC11 ,  4F040AA02 ,  4F040AB20 ,  4F040AC01 ,  4F040BA02 ,  4F040DA12 ,  4F040DB08