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J-GLOBAL ID：201106033174861315
非化学増幅レジスト
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用語の主な分野です
高分子化学
関連語 (3件)：
拡散
(Diffusion)
拡散 について
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表面粗さ
(surface roughness)
表面粗さ について
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化学増幅レジスト
(chemically amplified resist)
化学増幅レジスト について
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上位語 (1件)：
レジスト
(resist)
レジスト について
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