文献

J-GLOBAL ID：201202100500283116   整理番号：12A1346232

極表面分析用超低エネルギーイオン銃の開発(V)-FIB加工ダメージ層の低減化

著者 (5件)： 岩本圭吾 (大阪大 大学院) ,  松谷貴臣 (大阪大 大学院) ,  高井義造 (大阪大 大学院) ,  相原龍三 (A&D開発技術セ) ,  佐久間美三 (A&D開発技術セ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 61st  号： 2  ページ： 629  発行年： 2000年09月03日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 表面分析 ,  低エネルギーイオン ,  銃 ,  開発 ,  FIB ,  ダメージ ,  低減化