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J-GLOBAL ID：201202193832055719   整理番号：12A1345897

軟X線反射鏡用Mo/Si多層膜の界面構造

著者 (8件)： 石野雅彦 (原研) ,  依田修 (原研) ,  葉石靖之 (北大 工) ,  有元史子 (北大 工) ,  武田光博 (北大 工) ,  渡辺精一 (北大 工) ,  大貫惣明 (北大 工) ,  阿部弘亨 (原研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 61st  号： 2  ページ： 516  発行年： 2000年09月03日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： 軟X線 ,  反射鏡 ,  Mo ,  Si ,  多層膜 ,  界面構造