文献
J-GLOBAL ID：201202198396101400
整理番号：12A1462015
エピタキシャル成長HfN/Si系と連続エピタキシャル成長Cu/HfN/Si系の表面形態
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出版者サイト
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著者 (2件)：
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資料名：
巻：
62nd
号：
2
ページ：
497
発行年：
2001年09月11日
JST資料番号：
Y0055A
資料種別：
会議録 (C)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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