文献

J-GLOBAL ID：201202200269255559   整理番号：12A1215562

MOPA配置の超短パルスレーザシステムを用いたガルボスキャナーの同期による超高精密の表面構造化

Ultra high precision surface structuring by synchronizing a galvo scanner with an ultra short pulsed laser system in MOPA arrangement

著者 (8件)： JAEGGI B. (Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE) ,  NEUENSCHWANDER B. (Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE) ,  HUNZIKER U. (Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE) ,  ZUERCHER J. (Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE) ,  MEIER T. (Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE) ,  ZIMMERMANN M. (Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE) ,  SELBMANN K. H. (Bern Univ. Applied Sci., Burgdorf, CHE) ,  HENNIG G. (Daetwyler Graphics, Bleienbach, CHE)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8243  ページ： 82430K.1-82430K.11  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超高精密の表面および3D構造化のための,MOPA配置の超短パルスレーザシステムとガルボスキャナーの同期を検討した。電子的スキャナー制御を変形し,通常100kHzかそれ以上の範囲にあるレーザパルスのクロックとスキャナーミラーの動きの同期させた。この同期によて,単一パルスから生じる小アブレーションクレーターを,相互に約1μmの精度で位置設定することを可能とした。最小表面粗さ,壁の急峻性,形状精度と効率に関する最適化プロセスの結果を提示した。

シソーラス用語： 表面加工 ,  *パルスレーザ ,  レーザ加工 ,  構造形成 ,  レーザスキャナ ,  反射鏡 ,  *レーザアブレーション ,  クレータ ,  精度 ,  壁面 ,  表面粗さ ,  *パターン形成 ,  *超短パルスレーザ
準シソーラス用語： ガルバノミラー ,  位置決め精度

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (4件)： MOPA ,  短パルスレーザ ,  精密 ,  表面構造