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J-GLOBAL ID：201202200673172209   整理番号：12A1457863

透明材料の層厚の光学的測定

Optical measurement of the layer thickness of transparent materials

著者 (2件)： DIERKE H. (Technische Univ. Braunschweig, Braunschweig, DEU) ,  TUTSCH R. (Technische Univ. Braunschweig, Braunschweig, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8430  ページ： 843008.1-843008.6  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学的手段による透明材料の層厚の光学的測定結果を示した。透明材料から作られた膜の厚みなどの構造的寸法の正確な測定は,従来の光学的装置では困難な課題であった。透明材料の層厚の光学的測定においては,幾何学的な厚みdの代わりに光学的な厚みndが測定されることを考慮する必要がある。特定の測定原理に基づき測定データの補正を行う場合,たとえば垂直に入射する光のような単純化が仮定されている。その単純化は層厚の厳密な測定に対する不確かさをもたらす。そこで,垂直でない入射の影響の推定値を得るため,さらなる調査とモデリングをおこなった。

シソーラス用語： 層厚 ,  *光学的測定 ,  薄膜 ,  光干渉法 ,  膜厚 ,  白色光 ,  *厚み測定

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 透明材料 ,  層厚 ,  光学的測定