文献

J-GLOBAL ID：201202203534474410   整理番号：12A0615761

YAGレーザ加工のための超精密切断で製作された環ビーム成形光学系

Ring Beam Shaping Optics Fabricated with Ultra-precision Cutting for YAG Laser Processing

著者 (6件)： KUWANO Ryoichi (Polytechnic Univ., Sagamihara, JPN) ,  KOGA Toshihiko (Polytechnic Univ., Sagamihara, JPN) ,  TOKUNAGA Tsuyoshi (Chiba Inst. Technol., Chiba, JPN) ,  WAKAYAMA Toshitaka (Saitama Medical Univ., Saitama, JPN) ,  OTANI Yukitoshi (Utsunomiya Univ., Utsunomiya, JPN) ,  FUJII Nobuyuki (Polytechnic Univ., Sagamihara, JPN)
資料名： Optical Review  (Optical Review)
巻： 19  号： 2  ページ： 98-102  発行年： 2012年04月01日 
JST資料番号： L2272A  ISSN： 1340-6000  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,非球面要素の屈折型レンズで環強度分布を発生する方法を提案した。超精密切断だけを利用してビーム成形光学素子を加工した。その幾何学的と物理的光学系に基づく数値計算から,光学素子の形状とその放射照度パターンを決定した。ビーム成形光学素子を製作するために超精密旋盤を使用した。また,アクリル樹脂を利用した。単結晶ダイヤモンドツールで製作した非球面の光学素子(回転対称体)の透過率は98%以上で,表面粗さは9.6nmRaであった。この方法は,パルスYAGレーザ(λ=1.06μm)処理でのステンレス鋼部分の円融解ゾーン形成を可能にした。平均半径が610μmで,幅が100-200μmであった。環ビーム成形光学素子を利用して,ビーム走査なしで単一パルスビーム照射により円加工を実現できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *光学系 ,  YAGレーザ ,  *超精密加工 ,  *ビーム成形 ,  アクリル樹脂 ,  非球面レンズ ,  環状構造 ,  ダイヤモンド工具 ,  ステンレス鋼 ,  レーザ加工 ,  透過率 ,  表面粗さ
準シソーラス用語： ダイヤモンドツール ,  強度分布

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (9件)：

• DICKEY, F. M. Opt. Photonics News. 2003, 30
• DICKEY, F. M. Laser Beam Shaping Theory and Techniques. 2000
• VELDKAMP, W. B. Appl. Opt. 1982, 21, 345
• VELDKAMP, W. B. Appl. Opt. 1982, 21, 3209
• LEE, W.-H. Appl. Opt. 1979, 18, 3661

タイトルに関連する用語 (5件)： YAGレーザ ,  超精密 ,  製作 ,  ビーム成形 ,  光学系