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J-GLOBAL ID：201202204441207362   整理番号：12A1562931

反応性スパッタ法で作製したZnO薄膜の熱伝導率およびその組織構造依存性

著者 (5件)： XU Yibin (物質・材料研究機構) ,  後藤真宏 (物質・材料研究機構) ,  加藤良三 (物質・材料研究機構) ,  田中義久 (物質・材料研究機構) ,  香川豊 (物質・材料研究機構)
資料名： Thermophysical Properties  (Thermophysical Properties)
巻： 33rd  ページ： 32-34  発行年： 2012年10月03日 
JST資料番号： X0031A  ISSN： 0911-1743  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *反応性スパッタリング ,  *薄膜 ,  *熱伝導率 ,  *依存性 ,  RFスパッタリング ,  基板 ,  分圧 ,  アルゴン ,  ターゲット ,  亜鉛 ,  結晶構造
準シソーラス用語： *構造依存性 ,  サファイア基板 ,  酸素分圧

分類 (4件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  比熱・熱伝導一般  (BL05021E) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 反応性スパッタ法 ,  作製 ,  ZnO薄膜 ,  熱伝導率 ,  組織 ,  構造依存性