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J-GLOBAL ID：201202205061187969   整理番号：12A0874147

ナノメッシュを利用した金属ナノドットの創製と構造評価

Formation of metal nanodots in (4x4) vanadium oxide nanomesh on Pd(111)

著者 (2件)： 柚原淳司 (豊田理研) ,  柚原淳司 (名古屋大 大学院工学研究科)
資料名： 豊田研究報告  (Reports of Toyota Physical and Chemical Research Institute)
号： 65  ページ： 107-108  発行年： 2012年05月31日 
JST資料番号： G0667A  ISSN： 0372-039X  CODEN： TOKHA6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体デバイス産業では,ボトムアップ技術が注目されている。最近著者達は,Pd(111)表面上に作製された,酸化バナジウムメッシュを利用して,ビスマスや銀のナノドットの規則的自己組織化に成功した。ここでは更に,シリコン,ゲルマニウム,スズ,鉛などの元素のふるまいを系統的に調べている。実験では,STM,LEED,AES測定を用い,また密度汎関数理論に基づく,第一原理計算コード(VASP)により構造最適計算も行った。結果はシリコンを除いて,ビスマスや銀と同様にナノドットがメッシュ中のナノホールに形成可能であること,シリコンはナノメッシュそのものに吸着し,ナノドットの形成は困難と結論している。

シソーラス用語： 銀 ,  *ナノ構造 ,  パラジウム ,  酸化バナジウム ,  *メッシュ網 ,  ビスマス ,  *自己組織化 ,  ケイ素 ,  ゲルマニウム ,  半導体 ,  スズ ,  鉛 ,  *密度汎関数法 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  低速電子回折 ,  Augerスペクトル ,  *金属
準シソーラス用語： *ナノドット ,  ナノメッシュ ,  STM【顕微鏡】 ,  LEED ,  AESスペクトル

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (4件)：

• [1] C. Klein et al., Phys. Rev. B 68, 235416 (2003)
• [2] S. Hayazaki et al., Surf. Sci. 602, 2025 (2008)
• [3] G. Kresse, J. Furthm霍ller, Phys. Rev. B 54, 11169 (1996).
• [4] J. Cerda, M. A. Van Hove, P. Sautet, and M. Salmeron, Phys. Rev. B 56, 15885 (1997)

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノメッシュ ,  ナノドット ,  創製 ,  構造評価