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J-GLOBAL ID：201202205561146797   整理番号：12A0427200

3次元コロイド性結晶に基づくポリ(ジメチルシロキサン)複製モールドを用いた重合ナノ構造の熱エンボス加工

Hot embossing of polymeric nanostructures using poly(dimethylsiloxane) replica molds based on three-dimensional colloidal crystals

著者 (2件)： KIM Mun Ho (Korea Res. Inst. of Chemical Technol. (KRICT), Daejeon, KOR) ,  PARK O Ok (Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), Daejeon, KOR)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 91  ページ： 121-126  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (8件)： 3次元 ,  コロイド ,  結晶 ,  複製 ,  モールド ,  重合 ,  ナノ構造 ,  エンボス加工