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J-GLOBAL ID：201202205733005058   整理番号：12A0549682

表面マイクロマシンの繰り返し衝撃負荷による側壁接着の進展

Evolution of sidewall adhesion in surface micromachines due to repetitive impact loading

著者 (2件)： XIANG H. (Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of California, Berkeley, California 94720, USA) ,  KOMVOPOULOS K. (Dep. of Mechanical Engineering, Univ. of California, Berkeley, California 94720, USA)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 111  号： 5  ページ： 054507-054507-7  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多結晶シリコンによる接触モードの表面マイクロマシンを用いて接触負荷,雰囲気圧力,及び相対湿度が異なる条件下で,側壁接触界面での接着の進展に及ぼす繰り返し衝撃負荷の影響を調べた。衝撃サイクルに従う接着力の非線形増加はマクロマシンの動作寿命と直接関係することが分かった。過剰界面接着による故障基準を観測した実験の傾向に基づいて定式化した。真空又は高温雰囲気で動作させると接着力は乾燥雰囲気中での場合よりも早く増加する。衝撃サイクルに従い接着力が著しく増加するにも関わらず,高倍率走査電子顕微鏡で3×10⁷の衝撃サイクル後でも表面トポグラフィーに識別できる変化は見られなかった。界面接着力の進展は接触実面積及びナノスケール表面平滑化による接着の仕事の増加,及び接着した不純物層の除去に起因している。物理及び化学的表面変性を異なる最大接触圧力,雰囲気圧力,及び相対湿度のレベルに対して得られた結果と関連させて説明した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： MEMS ,  *ポリシリコン ,  表面構造 ,  *マイクロマシン ,  側壁 ,  モード ,  繰返し応力 ,  *寿命 ,  表面改質 ,  接触圧 ,  付着力 ,  気圧 ,  温度 ,  *接着
準シソーラス用語： 接触モード ,  接着力 ,  多結晶シリコン ,  表面変性

分類 (1件)： 固体デバイス一般  (NC03010Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロマシン ,  衝撃負荷 ,  側壁 ,  進展