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J-GLOBAL ID:201202206330644669   整理番号:12A0067916

非化学量論的GaAsBi/GaAs(100)分子線エピタキシー成長

Non-stoichiometric GaAsBi/GaAs (100) molecular beam epitaxy growth
著者 (6件):
資料名:
巻: 338  号:ページ: 57-61  発行年: 2012年01月01日 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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III-Vビスマサイドの成長は,GaAsへのBiの低い含有効率によって,金属的Bi液滴または低い層組成率の形成のどちらかを導いて,複雑になる。典型的には,この成長は,280と350°Cの間に,そして,Biの取り込みを促進するために,化学量論的Ga:As流束に近いところで,行われる。しかしながら,現在まで報告される大部分の研究も,As過剰圧力成分としてAs2を利用する。本研究では,高温バッファー層成長のために利用している標準1:20Ga:As4等価圧力比(BEPR)によって,As4による成長は高Bi組成物膜を形成することがわかる。Biの継続した供給過剰が液滴の形成を生み出した後,与えられた温度で,最大値が得られるまで,Bi率対Bi:As4BEPRが最初は線形であるとわかる。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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半導体の結晶成長  ,  光電デバイス一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
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