文献

J-GLOBAL ID：201202207392749560   整理番号：12A0312246

アノード酸化による集束イオンビームパターン化の新しい可能性

Newfound capability of focused ion beam patterning guided anodization

著者 (1件)： LU Kathy (Dep. of Materials Sci. and Engineering, Virginia Tech, Blacksburg, VA 24061, USA)
資料名： Electrochimica Acta  (Electrochimica Acta)
巻： 63  ページ： 256-262  発行年： 2012年02月29日 
JST資料番号： B0535B  ISSN： 0013-4686  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究で,凹凸のある表面上での連続アノード化におけるナノポア開発におよぼす集束イオンビーム(FIB)パターン化誘導効果について述べる。アルミニウム表面上に,異なった形状,凹凸形状が先ず作り出される。その後,種々の内部凹状距離を持つ六方晶系に配列したナノ凹状が表面を横切ってパターン化される。種々の内部ポア距離と表面曲率特性と同様に,種々のアノード酸化電解質中におけるポアの進展を研究する。結果は,FIB誘導アノード化は種々の凹凸表面上で規則化ナノポアアレイを作ることができることを示す。ナノポア深さ方向において,ポアは表面の接線方向と垂直に成長し,それは,表面わん曲に基づくポアの割裂あるいは終結に導く。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,  *パターン形成 ,  *細孔 ,  *ナノ構造 ,  *アノード酸化 ,  表面構造 ,  *粗面 ,  曲率 ,  アレイ ,  *表面粗さ
準シソーラス用語： *ナノポア ,  *凹凸表面

分類 (4件)： 電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X) ,  電気化学反応  (CB07050F) ,  固-気界面一般  (CB12041H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： アノード酸化 ,  集束イオンビーム ,  パターン化 ,  可能性