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J-GLOBAL ID：201202207451951646   整理番号：12A0779950

非線形MEMS内のノイズに基づいた共振センシングのための新手法

A NEW METHOD FOR RESONANT SENSING BASED ON NOISE IN NONLINEAR MEMS

著者 (3件)： BURGNER C. B. (Univ. California, Santa Barbara, USA) ,  SHAW L. A. (Univ. California, Santa Barbara, USA) ,  TURNER K. L. (Univ. California, Santa Barbara, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 25th Vol.1  ページ： 511-514  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ノイズスクイージング制御が必要な電子的な複雑度を低減した。パラメトリック励起されたデバイスのRMS振幅を分岐に対する前兆として使用し,周波数変化を検出するための手法として応用した。励起パラメータ,振幅,および周波数を制御することにより,そのスクイーズ状態の統計値に基づいた分岐点近傍の共振器を安定することができた。次に,必要な制御アクションは,デバイス近傍の分岐点の表示であった。ジャンプイベントが実際に起こらないので,長い整定時間問題とヒステリシスを回避できた。これにより,従来の分岐追跡に較べて,捕捉速度の著しい改善が可能になった。本技術を,従来と較べて10倍以上高い周波数をもつデバイスに応用した。それらのデバイスパラメータに対する感度を調査し,最初の結果として,ノイズフロアに近い共振振幅に対して50ppmの感度を示した。

シソーラス用語： 非線形系 ,  *MEMS ,  *雑音 ,  *共振 ,  スクイージング ,  励振 ,  実効値 ,  振幅 ,  周波数制御 ,  特異点 ,  時間 ,  *検出
準シソーラス用語： rms値 ,  センシング ,  *ノイズ ,  パラメトリック励起 ,  二乗平均平方根 ,  整定時間 ,  分岐点

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 非線形 ,  MEMS ,  ノイズ ,  共振 ,  センシング ,  手法