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J-GLOBAL ID：201202207932701937   整理番号：12A1449349

修正チャープzアルゴリズムにより計算された周期性および準周期性最密2Dマスク構造のTalbot-カーペット

Talbot-carpets of periodic and quasi-periodic close-packed 2D mask structures calculated by modified chirp-z-algorithm

著者 (5件)： MAASS Jacqueline S. (Carl Zeiss Jena GmbH, Jena, DEU) ,  SANDFUCHS Oliver (Univ. Applied Sci. Hamm-Lippstadt, Hamm, DEU) ,  GATTO Alexandre (Carl Zeiss Jena GmbH, Jena, DEU) ,  THOMAE Daniel (Univ. Applied Sci. Jena, Jena, DEU) ,  BRUNNER Robert (Univ. Applied Sci. Jena, Jena, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8428  ページ： 84281L.1-84281L.9  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Talbot効果の特性評価は技術的関心を引き起こす。Talbot干渉分光法は透明物体の表面輪郭,湾曲板の傾斜輪郭の研究を可能にする。Talbot効果は光のサブ波長集束に好適であり,分光法と高分解能リソグラフィに対する新しい解決策を提示する。2Dマスクに隣接する近接領域の3D強度分布に関するシミュレーションを行った。特殊表面モザイク細工として,六方晶最密および準周期性マスクパターンの両方を選んだ。規則的周期格子に対し,両方の選択パターンの強度分布は複雑になることが分かった。

シソーラス用語： *スペクトロスコピー ,  *マスク ,  アルゴリズム ,  カーペット ,  二次元 ,  六方晶系 ,  モザイク性
準シソーラス用語： Talbot効果 ,  *干渉分光法

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  分光法と分光計一般  (BD07041Q)

タイトルに関連する用語 (7件)： チャープ ,  アルゴリズム ,  計算 ,  周期性 ,  2D ,  マスク ,  カーペット