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J-GLOBAL ID：201202208445926156   整理番号：12A0237282

〈MEMSを用いた静電容量式力覚センサの研究〉

著者 (4件)： 柏原稔樹 (工学院大 大学院) ,  鈴木健司 (工学院大) ,  高信英明 (工学院大) ,  三浦宏文 (工学院大)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
巻： 2nd  ページ： 97-98  発行年： 2010年10月12日 
JST資料番号： L8358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,力覚センサとロボットが一体化した小型ロボットの開発を最終目標とし,その前段階として,シリコンウェハ上にMEMSを用いた静電容量式力覚センサの開発を行った。製作する力覚センサの構造を静電容量式にすることにより,垂直方向からの微小な力が加わることで,2枚の導電体間の距離が変化し,静電容量の変化を検出することができる仕組みになっている。結果,力覚センサは100mNあたり0.05pFの変化で,押し付け力による静電容量の変化を検出することができる。(著者抄録)

シソーラス用語： MEMS ,  *圧力センサ ,  静電容量 ,  *ロボット構成要素
準シソーラス用語： MEMSセンサ ,  MEMSデバイス ,  *力覚センサ

分類 (2件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  静電容量 ,  力覚センサ ,  研究