プラズマ加工効果の検出用プラズマ-化学指示薬ストリップの形成

IHARA Tatsuhiko; KATSUTA Masato; OHSHIRO Seisaku; NAKAMURA Keiko; ITO Seisiro

文献

J-GLOBAL ID：201202209396614735 整理番号：12A1092705

プラズマ加工効果の検出用プラズマ-化学指示薬ストリップの形成

Fabrication of the Plasma-Chemical Indicator Strip for the Detection of Plasma Processing Effects

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資料名：
巻： 25 号： 4 ページ： 539-544 発行年： 2012年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

可視観察による要求ポイントでのプラズマ加工効果を確認するため,プラズマ-化学指示薬(PCI)を成形した。PCIはPET(ポリエチレンテレフタレート)シートストリップの1片で,その上にH₂O₂及びO₂プラズマに感受性及び検出可能なカラー指示薬マークが印刷されている。PCI上でH₂O₂及びO₂プラズマの検出可能特性は,二つの異なる着色剤の混合により実現した:赤アゾ染料及び緑フタロシアニン顔料をニトロセルロース樹脂に混合した。PCIがH₂O₂及びO₂プラズマにより処理された場合,色はコントロールPCIの紫から,濁淡緑及び淡青緑に夫々処理時間15分で連続的に転移する。しかしながら,PCIがO₂プラズマに処理された場合,15分の処理時間で,ピンク色に連続的に転移する。それ故,調製PCIはH₂O₂及びO₂プラズマに対し感受性及び検出可能と言える。最後に,最終色ばかりでなく,変化の最中の色もPCIとして利用可能であることが分かった。(翻訳著者抄録)

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プラズマ応用 , 分析試薬

引用文献 (9件)：

1. F. E. Santz, J. M. Perez, App. Optics, 29, 522 (1990).
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5. N. Hayashi, T. Nakashima, A. Yonetsu, IEEE Trans. Plasma Sci., 39, 2976 (2011).

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