文献

J-GLOBAL ID：201202210162319010   整理番号：12A1447833

拡張重心法を用いた計測用AFMによるポリスチレン標準試料の直径較正

Extension of the gravity center method for diameter calibration of polystyrene standard particles with metrological AFM

著者 (5件)： MISUMI Ichiko (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki) ,  TAKAHATA Keiji (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki) ,  SUGAWARA Kentaro (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki) ,  GONDA Satoshi (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki) ,  EHARA Kensei (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8378  ページ： 83780J.1-83780J.11  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリスチレンラテックスナノ粒子は粒子計のような測定器の較正のための標準試料として重要である。近年,計測用原子間力顕微鏡(AFM)が粒径測定に採用され,隣接するナノ粒子の頂点間の距離を水平直径と定義している。しかし頂点を結ぶ直線を測定者が選定しているので測定値に個人差があらわれる欠点があった。我々は,測定を3次元に拡張した拡張重心法により各粒子の頂点位置を計算して水平直径を求めた。方法の詳細と測定結果および測定の不確定性について検討した。測定の不確定性はAFMが最密充填したナノ粒子表面の一部にしか接していないことに起因する。

シソーラス用語： 計測器 ,  *原子間力顕微鏡 ,  *キャリブレーション ,  ポリスチレン ,  粒状材 ,  標準片 ,  粒度分析 ,  *ナノ粒子 ,  *重心 ,  立体画像 ,  不確実性
準シソーラス用語： 粒子計数器 ,  較正 ,  *ポリスチレンビーズ ,  標準試料 ,  粒径測定 ,  三次元イメージ ,  不確定性

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (8件)： 拡張 ,  重心 ,  計測 ,  AFM ,  ポリスチレン ,  標準試料 ,  直径 ,  較正