文献

J-GLOBAL ID：201202211200383778   整理番号：12A1421083

還元剤としてジエチル亜鉛を用いた銅の原子層析出の機構 気相分子をモデルとして用いた密度汎関数理論研究

Mechanism for the Atomic Layer Deposition of Copper Using Diethylzinc as the Reducing Agent: A Density Functional Theory Study Using Gas-Phase Molecules as a Model

著者 (2件)： DEY Gangotri (Univ. Coll. Cork, Cork, IRL) ,  ELLIOTT Simon D. (Univ. Coll. Cork, Cork, IRL)
資料名： Journal of Physical Chemistry A  (Journal of Physical Chemistry A)
巻： 116  号： 35  ページ： 8893-8901  発行年： 2012年09月06日 
JST資料番号： C0334B  ISSN： 1089-5639  CODEN： JPCAFH  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  *銅錯体 ,  前駆体 ,  配位子効果 ,  反応経路 ,  反応中間体 ,  不均化 ,  配位子交換 ,  脱離反応 ,  気相反応 ,  密度汎関数法 ,  脂肪族ケトン ,  ジケトン ,  脂肪族フッ素化合物
準シソーラス用語： ALD【蒸着】 ,  *原子層堆積

分類 (6件)： 固-気界面一般  (CB12041H) ,  その他の無触媒反応  (CB06070U) ,  塩  (CD01050V) ,  第11族,第12族元素の錯体  (CE01050Y) ,  有機第11族・有機第12族元素化合物  (CF09052N) ,  分子間相互作用  (BH07020P)

物質索引 (5件)： アセチルアセトン ,  ジエチル亜鉛 ,  ヘキサフルオロアセチルアセトン ,  N-イソプロピル-1H-ピロール-2-メタンイミン ,  N-エチル-1H-ピロール-2-メタンイミン

タイトルに関連する用語 (10件)： 還元剤 ,  ジエチル亜鉛 ,  銅 ,  原子層 ,  析出 ,  気相 ,  分子 ,  モデル ,  密度汎関数理論 ,  研究