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J-GLOBAL ID：201202211278396566   整理番号：12A0806346

高いロバスト性を有する新規なマイクロ加工した音又型ジャイロスコープの構造設計

Structure design of a novel micromachinined tuning fork gyroscope with high robustness

著者 (4件)： CHEN W. P. (Harbin inst. Technol., Heilongjiang, CHN) ,  YANG Y. B. (Harbin inst. Technol., Heilongjiang, CHN) ,  YANG Y. B. (Key Lab. Micro-Systems and Micro-Structures Manufacturing, Ministry of Education, CHN) ,  YU Y. (Key Lab. Micro-Systems and Micro-Structures Manufacturing, Ministry of Education, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 503  ページ： 108-113  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 差動キャパシタ構造を有する音又型ジャイロスコープの構造設計を行った。駆動モードと検出モードの効率的なデカップリングのためにU字形状のビームを採用した。ANSYSによるシミュレーションにより,各種パラメータの最適化を行った。検出ビームおよび駆動ビームの長さの変化による振動周波数の変化を調べ,良好なデカップリングが達成されていることを確認した。また。本デバイスの温度変化による振動数およびQ値の変化を調べ,高いロバスト性が達成されていることを確認した。本デバイスの感度は17.8mV/deg/sおよび直線性は99.989%である。

シソーラス用語： *ロバスト性 ,  *ジャイロスコープ ,  *構造設計 ,  *音叉 ,  マイクロマシニング ,  モード ,  静電容量 ,  パラメータ ,  *最適化 ,  温度依存性 ,  振動数 ,  Q値
準シソーラス用語： マイクロ加工 ,  差動モード

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： ロバスト性 ,  マイクロ加工 ,  音 ,  型 ,  ジャイロスコープ ,  構造設計