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J-GLOBAL ID：201202211282759150   整理番号：12A0215220

極端紫外Mo/Si多層被膜に対するフェムト秒レーザ照射の損傷効果の解析

Analysis of the damage effect of femtosecond-laser irradiation on extreme ultraviolet Mo/Si multilayer coating

著者 (8件)： SUMAN M. ,  MONACO G. ,  ZUPPELLA P. ,  NICOLOSI P. ,  PELIZZO M.g. ,  FERRARI F. ,  LUCCHINI M. ,  NISOLI M.
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 6  ページ： 2301-2306  発行年： 2012年01月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザ照射に曝したMo/Si多層被膜の損傷を解析した。アト秒パルスを反射するために広い反射率バンド幅と適切な位相チャープを持つMo/Si非周期多層膜試料を特別に設計した。レーザ照射後,光学顕微鏡とプロフィルメータを使って鏡面を解析した。X線光電子分光を使って,照射後に試料表面に生じた化合物の化学量論性を調べた。反射パルス特性に関する照射試料の性能を,反射率と位相測定により調べた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 極端紫外線 ,  パルスレーザ ,  *照射損傷 ,  *多層膜 ,  光学顕微鏡 ,  プロフィルメータ ,  X線光電子分光法 ,  *レーザ損傷 ,  フェムト秒レーザ

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (8件)： 極端紫外 ,  Mo ,  Si ,  多層 ,  被膜 ,  フェムト秒レーザ ,  損傷 ,  解析