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J-GLOBAL ID：201202211473257147   整理番号：12A0140187

被覆層/基板モデルから誘導されたシミュレーテッドARXPSデータからの深さプロフィル抽出に対する正則化法

Regularization methods for the extraction of depth profiles from simulated ARXPS data derived from overlayer/substrate models

著者 (1件)： PAYNTER R.w. (INRS Energie Materiaux Telecommunications, 1650 boul. Lionel-Boulet, Varennes, Quebec, CAN)
資料名： Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena  (Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena)
巻： 184  号： 11-12  ページ： 569-582  発行年： 2012年01月 
JST資料番号： D0266C  ISSN： 0368-2048  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ケイ素上の酸化ケイ素の位置決めされた深さプロフィルから出発して,100セットのノイジーシミュレーテッドARXPSデータを3,6,9,12,15,18,21,24及び27Åの各酸化層厚に対して創り出したした。酸素の深さプロフィルを,最大エントロピー及びTikhonov正則化を含む正則化された逆変換法を用いてノイジーシミュレーテッドデータから回復した。3つの正則化パラメータ:1つはS曲線により決定されたもの,1つはL曲線により決定されたもので,3つめは入力と抽出プロフィルとの間の最近接対応に対応するもの:を用いた。評価されたいろいろな正則化スキームは,入力プロフィル再現能力に従ってランク付けされた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *角度分解分光法 ,  *X線光電子スペクトル ,  スペクトルシミュレーション ,  酸化層 ,  *深さプロフィル ,  濃度分布 ,  *最大エントロピー法 ,  *正則化 ,  逆変換
準シソーラス用語： *Tikhonov正則化

分類 (1件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 被覆層 ,  モデル ,  誘導 ,  深さプロフィル