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J-GLOBAL ID：201202211998677430   整理番号：12A1154426

Siナノワイアベースのキャパシタの4次元スペクトル低損失エネルギーフィルタ透過電子トモグラフィ

Four-dimensional spectral low-loss energy-filtered transmission electron tomography of silicon nanowire-based capacitors

著者 (8件)： HABERFEHLNER G. (CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA) ,  BAYLE-GUILLEMAUD P. (CEA, INAC-UJF UMR-E Grenoble 1, SP2M, LEMMA, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA) ,  AUDOIT G. (CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA) ,  LAFOND D. (CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA) ,  MOREL P. H. (CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA) ,  JOUSSEAUME V. (CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA) ,  ERNST T. (CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA) ,  BLEUET P. (CEA, LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 GRENOBLE Cedex 9, FRA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 101  号： 6  ページ： 063108-063108-4  発行年： 2012年08月06日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者達は,ナノワイアベースキャパシタの4次元構造特性化に対する,トモグラフィと結合させた,低損失エネルギーフィルタの透過電子顕微鏡の可能性を示す。この方法では,化学的な分布に対してアクセスする,全素子内での局所低損失スペクトルを,再構成することができる。著者達は,この素子の3次元モデルを再構成する,ナノワイア内の異なる材料からのプラズマピークについての情報を引き出す能力を用いる。更に,再構成された低損失スペクトルは,全ナノワイア及び集束イオンビームで調製したナノワイアの薄いラメラに渡っての古典的2次元走査幾何形状に於いて得られるスペクトルと比較される。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ナノワイヤ ,  *コンデンサ ,  *フィルタ ,  *トモグラフィー ,  電子 ,  *透過型電子顕微鏡 ,  プラズモン ,  スペクトル ,  集束イオンビーム ,  *ケイ素 ,  モデリング
準シソーラス用語： エネルギーフィルタ ,  透過電子トモグラフィ ,  低損失スペクトル

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (9件)： Si ,  ナノワイア ,  キャパシタ ,  4次元 ,  スペクトル ,  低損失 ,  エネルギーフィルタ ,  透過 ,  電子トモグラフィ