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J-GLOBAL ID:201202212630138684   整理番号:12A1530453

マイクロフルイディクス用途のためのTiO2変性マイクロチャネルに関する研究

Studies on the TiO2 modified microchannels for microfluidic applications
著者 (6件):
資料名:
巻: 89  ページ: 247-250  発行年: 2012年12月15日 
JST資料番号: E0935A  ISSN: 0167-577X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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二酸化チタン(TiO2)薄膜は,その光誘起親水性に基づいて防曇,セルフクリーニング,キャピラリポンプ等として多くの有望な用途を持っている。マイクロチャネルを湿式エッチング法によりガラス基板上に作製し,パルスレーザー蒸着法(PLD法)を用いて高度に均一なTiO2薄膜をマイクロチャネル中に堆積した。結晶子はX線回折(XRD)によりアナターゼと決定され,その厚さと粒径はそれぞれ200nmと25nmと計算された。吸光度と接触角についても,それぞれUV-可視分光器と接触角解析システムを用いて検討した。結果は,得られたTiO2薄膜が親水性であることを示した。UV(253.7nm)光照射下で最小接触角は約10°C(高親水性)であった。接触角は,光を遮断した後で徐々に増加した。マイクロチャネル内の水の流速を調べた。結果は,マイクロチャンネルで修飾したTiO2薄膜は,キャピラリポンプの有望な用途を有することを示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (3件):
分類
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酸化物薄膜  ,  固体デバイス製造技術一般  ,  その他の固体デバイス 

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