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J-GLOBAL ID：201202212788497193   整理番号：12A0430731

トレンチ超伝導共面導波路のマイクロ波損失減少

Reduced microwave loss in trenched superconducting coplanar waveguides

著者 (5件)： VISSERS Michael R. (National Inst. of Standards and Technol., 325 Broadway, Boulder, Colorado 80305, USA) ,  KLINE Jeffrey S. (National Inst. of Standards and Technol., 325 Broadway, Boulder, Colorado 80305, USA) ,  GAO Jiansong (National Inst. of Standards and Technol., 325 Broadway, Boulder, Colorado 80305, USA) ,  WISBEY David S. (National Inst. of Standards and Technol., 325 Broadway, Boulder, Colorado 80305, USA) ,  PAPPAS David P. (National Inst. of Standards and Technol., 325 Broadway, Boulder, Colorado 80305, USA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 100  号： 8  ページ： 082602  発行年： 2012年02月20日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 全てのマイクロ波損失源の寄与を減らすことは,超伝導量子ビットのコヒーレンス時間を増加させるために重要である。本論では,固有Si基板に製作した窒化チタン共面導波路中のギャップ領域からSi基板材料を系統的に取り除くことによって損失を減らすことを研究した。平行平板反応性イオンエッチング装置におけるエッチング速度の径方向依存性を利用することによって,Siギャップのみを様々な深さにエッチング(すなわちトレンチ)した他の同一共面導波路を,単一処理ステップで単一TiN膜中に作成した。これらの多重深さでの測定は,単一処理ステップによって起こる故意でない効果と分離して損失低減の研究を可能にする。全てのトレンチ深さからの損失を比較する時に,高出力損失は同じだが,単一光子限界において,損失は,有限要素解析からの予測と一致してより深いトレンチで二倍減少することを見出した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： トレンチカット【加工】 ,  *超伝導 ,  *コプレーナ導波路 ,  マイクロ波 ,  損失 ,  磁束量子 ,  符号 ,  ウエハ【IC】 ,  間隙 ,  RIE【エッチング】 ,  半径方向 ,  深さ ,  有限要素法
準シソーラス用語： Si基板 ,  エッチング速度 ,  コヒーレンス時間 ,  高出力 ,  窒化チタン ,  超伝導量子ビット ,  平行平板 ,  方向依存性

分類 (2件)： 導波管,同軸線路  (NC04040N) ,  超伝導体の物性一般  (BM04021A)

タイトルに関連する用語 (5件)： トレンチ ,  超伝導 ,  共面導波路 ,  マイクロ波 ,  損失