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J-GLOBAL ID：201202213457336099   整理番号：12A0715191

液体クロマトグラフィー用のピラーアレイカラムの性能への最先端微細加工プロセスの限界の影響

Impact of the limitations of state-of-the-art micro-fabrication processes on the performance of pillar array columns for liquid chromatography

著者 (5件)： OP DE BEECK Jeff (Dep. of Chemical Engineering, Vrije Universiteit Brussel, Pleinlaan 2, 1050 Brussel, BEL) ,  DE MALSCHE Wim (Dep. of Chemical Engineering, Vrije Universiteit Brussel, Pleinlaan 2, 1050 Brussel, BEL) ,  TEZCAN Deniz S. (Imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, BEL) ,  DE MOOR Piet (Imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, BEL) ,  DESMET Gert (Dep. of Chemical Engineering, Vrije Universiteit Brussel, Pleinlaan 2, 1050 Brussel, BEL)
資料名： Journal of Chromatography A  (Journal of Chromatography A)
巻： 1239  ページ： 35-48  発行年： 2012年05月25日 
JST資料番号： C0278B  ISSN： 0021-9673  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 筆者らは,高効率のピラーアレイカラムを得るために必要な小さなピラーサイズを生産するための微細加工の最新技術の実用上の限界を報告する。この目的のために,5-0.5μmの範囲の種々のピラー直径を有する9つのチャネルを最新の深UVリソグラフィーと深堀り反応性イオンエッチング(DRIE)法を利用して作成した。得られた結果は,理論的に予測される蛍光から大きく逸脱し,最小段高さ(H_min)がピラーアレイの直径と共に直線的に減少した。ピラーアレイの直径が4.80から3.81μmのときの最小段高さは,1.7から1.2μmまで減少するが,その次元がさらに減少するとき,最小段高さが再び約2μmに増加する。最小のピラーアレイの直径すらも最悪の最小段高さ(4μm)をもたらした。種々のチャネルの綿密な走査型電子顕微鏡(SEM)観察が,これらの知見は,UVリソグラフィーと深堀り反応性イオンエッチングプロセスの限界を調べるときに不可避的に遭遇する限界微細加工の限界に起因することを明確に示した。この設計の標的次元が,エッチング分解能の限界に接近するとき,バンドの拡がりがピラー次元の減少と共に非線形で増加する。この高度の非線形関係は,マッチング誤差が100-200nmのオーダーのとき,また,内部ピラー距離の標的設計サイズが250nmのとき,第一原理から理解することができ,これが,50-450nmの範囲のサイズの細孔を不可避的にもたらす。筆者らは,このことを本研究の高度の非線形関係によって強調する。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *液体クロマトグラフィー ,  *配列 ,  *クロマトグラフ用カラム ,  *微細加工 ,  *限界 ,  リソグラフィー ,  RIE【エッチング】 ,  走査電子顕微鏡 ,  細孔径分布 ,  非線形性
準シソーラス用語： *ピラーアレイ ,  紫外線リソグラフィー ,  *成形限界

分類 (1件)： 液体クロマトグラフィー  (CC04014L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 液体クロマトグラフィー ,  最先端 ,  微細加工 ,  プロセス ,  限界