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J-GLOBAL ID：201202213628963429   整理番号：12A1430500

1GHzまでの誘電特性測定における精度向上のための手法検討

著者 (3件)： 時田幸一 (東京都産業技術研究セ) ,  重松宏志 (東京都産業技術研究セ) ,  小林丈士 (東京都産業技術研究セ)
資料名： 東京都立産業技術研究センター研究報告  (Bulletin of Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute)
号： 7  ページ： 6-9  発行年： 2012年09月28日 
JST資料番号： S0759C  ISSN： 1881-8676  CODEN： KHCDBB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 絶縁物の誘電特性測定において汎用性を確保しつつスパッタリングによる電極形成や高誘電率試料におけるロード補正等の手法を検討し測定精度改善や正確な測定が実現されることを示した。インピーダンスマテリアルアナライザを用いた誘電特性測定の原理,測定の利点と問題点を示し,誤差要因として低周波領域におけるインピーダンスの増加や試料と電極との接触面積のロス等を挙げた。信号電圧調整とアベレージ機能の使用を行い,スパッタリングによる電極形成を行った。又高誘電率試料であるサファイアをロード補正用の試料に用いて測定を行った。低損失試料の測定も可能となったほか高損失試料では誤差5%以内が期待できる結果を示した。

シソーラス用語： *誘電率 ,  誘電正接 ,  *測定精度 ,  *絶縁材料 ,  電極 ,  スパッタリング ,  *電気測定 ,  *誘電体 ,  *絶縁体
準シソーラス用語： 誘電測定

分類 (1件)： R,L,C,Q,インピーダンス,誘電率の計測法・機器  (AD07030N)

引用文献 (4件)：

• (1) 時田幸一,重松宏志,小林丈士:「1GHzまでの誘電特性測定における精度向上のための手法検討」,平成24年度電気学会全国大会,2.007,(2012)
• (2) 戸高嘉彦,小林禧夫「マイクロ波帯における基板材料の複素誘電率測定法」,電気学会研究会資料.DEI,誘電・絶縁材料研究会2006(77),1-6,(2006)
• (3) アジレントテクノロジー:「誘電体測定の基礎」,アプリケーションノート,5989-2589JAJP,2005,(2005)
• (4) アジレントテクノロジー「インピーダンス測定技術を用いた誘電体,磁性体材料測定」,アプリケーションノート,1369.15980-2862JA,2003,(2003)

タイトルに関連する用語 (3件)： 誘電特性測定 ,  精度向上 ,  手法