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J-GLOBAL ID：201202213924581973   整理番号：12A1146360

酸化チタンフィルムの蒸着のためのアルゴン酸素混合物におけるマグネトロン放電

Magnetron discharge in an argon-oxygen mixture for deposition of a titanium oxide film

著者 (3件)： KOMLEV A. E. (St. Petersburg State Electrotechnical Univ. (LETI), ul. Prof. Popova 5, 197238, St. Petersburg, RUS) ,  SHAPOVALOV V. I. (St. Petersburg State Electrotechnical Univ. (LETI), ul. Prof. Popova 5, 197238, St. Petersburg, RUS) ,  SHUTOVA N. S. (St. Petersburg State Electrotechnical Univ. (LETI), ul. Prof. Popova 5, 197238, St. Petersburg, RUS)
資料名： Technical Physics  (Technical Physics)
巻： 57  号： 7  ページ： 1030-1033  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： E0952A  ISSN： 1063-7842  CODEN： TEPHEX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸化チタンフィルム ,  蒸着 ,  アルゴン ,  酸素 ,  混合物 ,  マグネトロン放電